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用途：

噴霧式涂布機主要用于開發研究和各種半導體器件（MEMS)和微機械。對應于超厚膜涂層，它是很難通過常規的旋涂機微粒的化學溶液，以使通過的特殊定制的噴霧噴嘴水平薄涂層。

主要特點：

噴霧式涂布機主要用于開發研究和各種半導體器件（MEMS)和微機械。對應于超厚膜涂層，

 它是很難通過常規的旋涂機微粒的化學溶液，以使通過的特殊定制的噴霧噴嘴水平薄涂層。

被涂覆的部分上，可以形成均勻的膜是困難的，在傳統的離心器，如在基板上的傾斜表面和

 梯形槽頂點。我們還支持基板貫通孔用于固定樣品的未經使用的真空抽吸。