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量子點專用噴膠設備，主要用于在晶圓表面噴涂甲苯、正己烷、UV液體，設備腔體密封，注入相應壓力流量的氮氣，氮氣需循環(huán)排放過濾使用。

設備主要由旋轉(zhuǎn)熱板系統(tǒng)、噴嘴掃描系統(tǒng)、流速控制系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及排液系統(tǒng)等組成，整機采用框架結(jié)構(gòu)，外表為不銹鋼護板，工作方式為手動上下片，自動完成噴膠工藝。

M+M100S－HC屬專用噴膠設備，

主要用于在晶圓表面噴涂甲苯、正己烷、UV液體，設備腔體密封；

注入相應壓力流量的氮氣，氮氣需循環(huán)排放過濾使用；

設備主要由旋轉(zhuǎn)熱板系統(tǒng)、噴嘴掃描系統(tǒng)、流速控制系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及排液系統(tǒng)等組成；

         整機采用框架結(jié)構(gòu)，外表為不銹鋼護板，工作方式為手動上下片，自動完成噴膠工藝