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用途：主要用于光阻涂膠工藝，原理是借用于液體的漲力原理進(jìn)行彎月牙涂膠，主要裝置就液刀口溢出的光阻涂布在基板表面。

一、產(chǎn)品使用范圍：                                          

 ? 彎月牙涂膠基板尺寸：1400 mm×420 mm×200 mm)； 

 ? 液體膠刀的有效尺寸為：420mm： 

 二、設(shè)備概述：此膠狹縫系統(tǒng)包括供膠系統(tǒng)、精密膠刀、平面度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、膠盒移動(dòng)等部件組成。       

 ? 供膠系統(tǒng)：伺服電機(jī)帶動(dòng)磁力泵供給膠刀，回流過濾循環(huán)供給，膠泵采購進(jìn)口壓力流量可調(diào)的磁力泵。 

 ?  精密膠刀：膠刀出液狹縫可調(diào)，可適應(yīng)100CP-200CP的光阻藥液。同時(shí)出液的高度（0.15-0.25mm）通過調(diào)整泵的供壓力及狹縫配合來調(diào) 

 ? 面度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)：膠刀與膠盒的平行度可通過膠盒內(nèi)的螺釘進(jìn)行調(diào)平，膠刀與連接平面也可調(diào)整，膠刀與基板的平面通過機(jī)械方式也可調(diào)整。 

 ? 利用電磁閥及氣缸來實(shí)現(xiàn)膠盒蓋的上下、左右方向的移動(dòng)。

三、設(shè)備控制設(shè)計(jì)：          

 ? 供泵系統(tǒng)膠泵為伺服電機(jī)，膠泵的壓力、流速通過調(diào)節(jié)電機(jī)的轉(zhuǎn)速控制。

 ?  膠盒蓋通過氣缸控制+電磁閥（氣缸都裝有上下，左右位置檢測傳感器）。 

 ?  基板移動(dòng)加有接近開關(guān)（主要用于檢測基板是否移過）。