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SU8光刻膠的勻膠機－愛姆加
 

高粘度的SU8光刻膠是半導體行業做厚膜的必須負膠，同時它在顯影、蝕刻時的CD值方面效果也不錯。但是想把SU8涂膠做好可能對設備的要求也相對高一點；愛姆加電子針對于SU8負膠專門開發了一款勻膠機，相對于市場的勻膠機效果也好很多：

SU8的特點：

1、 粘度值高

2、 排風速度不對，起波紋

3、 同時還會產生棉花糖的后果

4、 均勻性值很難做好

5、 本身SU8易產生氣泡

針對以下特點，愛姆加公司開發了一款涂SU8的勻膠機。同時歡迎各位同仁多交流